沉积方案 | 电化学沉积 (ECD) 面板

面板电镀 - Stratus™ P500

ECD 510 x 515 mm 面板加工

应用

• 可配置多达 5 种不同的电镀材料
• 多晶扇出
• SoC 封装
• MicroLED

特点

• 晶圆级精度硬件和软件
• Cu、Sn(Ag)、Ni 和 Au 电镀 @<10µm L/S
• 单面 / 双面电镀
• 膜电池提供高化学利用率
• 多区阳极，优化厚片和薄片的均匀性
• 带图案的屏蔽层可实现均匀的高通量电镀

材料

• 510×515 mm 面板, 定制
• 玻璃、复合材料、其他

宣传册及视频

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