热压式固晶
FIREBIRD TCB 系列
全自动热压式固晶系统
| 尺寸 | 宽 x 深 x 高 |
| 1,560 x 3,030 x 2,560 mm |
特色
- 灵活的物料处理能力，专门处理异质整合 2D、2.5D 及 3D
- 并存晶圆及卷带送料
- 可处理框条式基板 / 单一式基板 / 晶圆
- 特宽载具处理，适用于单一式基板
- 选配 SlimFEM 系统直接处理晶圆及玻璃基板
- 可靠的安装基础
- > 250 台已在客户厂房进行量产
- 创新工艺处理
- 惰性环境, 实现独有的 LPC 制程及高产能
- 实时主动尖端位置倾斜控制
